Influence of RF ICP PECVD process parameters of diamond-like carbon films on DC bias and optical emission spectra - Oleszkiewicz, Waldemar; Markowski, Janusz; Srnanek, Rudolf; Kijaszek, Wojciech; Gryglewicz, Jacek; Kovac, Jaroslav; Tłaczała, Marek (Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2013)
Optica Applicata, Vol. 43, 2013, nr 1, s. 109-115
Keywords: optyka; PECVD; diamond-like carbon layers; OES; Raman spectroscopy; AFM