Properties of thin films of high-k oxides grown by atomic layer deposition at low temperature for electronic applications - Gierałtowska, Sylwia; Wachnicki, Łukasz; Witkowski, Bartłomiej S.; Godlewski, Marek; Guziewicz, Elżbieta (Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2013)
Optica Applicata, Vol. 43, 2013, nr 1, s. 17-25
Keywords: optyka; high-k oxides; composite layers; atomic layer deposition; transparent electronics; zinc oxide