Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice - Zubel, Irena (Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004)
Keywords: monokryształy; struktura monokryształów; trawienie anizotropowe; kryształy; krzem