@misc{Grzebyk_Tomasz_Vacuum_2011,
 author={Grzebyk, Tomasz and Stasiak, Paweł and Górecka-Drzazga, Anna},
 contributor={Gaj, Miron. Redakcja and Urbańczyk, Wacław. Redakcja},
 year={2011},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 41, 2011, Nr 2, s. 389-394},
 language={eng},
 title={Vacuum in microsystems – generation and measurement},
 type={artykuł},
 keywords={optyka, vacuum MEMS, micropump, vacuum sensor, interference method},
}