@misc{Oleszkiewicz_Waldemar_Influence_2013,
 author={Oleszkiewicz, Waldemar and Markowski, Janusz and Srnanek, Rudolf and Kijaszek, Wojciech and Gryglewicz, Jacek and Kovac, Jaroslav and Tłaczała, Marek},
 contributor={Urbańczyk, Wacław. Redakcja},
 identifier={DOI: 10.5277/oa130114},
 year={2013},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 43, 2013, nr 1, s. 109-115},
 language={eng},
 title={Influence of RF ICP PECVD process parameters of diamond-like carbon films on DC bias and optical emission spectra},
 type={artykuł},
 keywords={optyka, PECVD, diamond-like carbon layers, OES, Raman spectroscopy, AFM},
}