@misc{Krysztof_Michał_Detekcja_2010, author={Krysztof, Michał}, contributor={Słówko, Witold. Promotor}, year={2010}, rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)}, publisher={Politechnika Wrocławska}, language={pol}, abstract={W pracy opisano system detekcji elektronów wtórnych, przeznaczony do pracy w niskiej próżni. System zintegrowany jest z systemem próżniowym, tworząc wyposażenie dodatkowe dla standardowych SEM. Budowa systemu optymalizowana była za pomocą opracowanego specjalnie do tego celu programu wykorzystującego metodę Monte Carlo}, title={Detekcja sygnału i technika obrazowania w skaningowym mikroskopie elektronowym w zakresie niskiej próżni}, type={rozprawa doktorska}, keywords={detekcja elektronów wtórnych, metoda Monte Carlo, skaningowa mikroskopia elektronowa}, }