@misc{Łukianowicz_Czesław_Inverse_2003,
 author={Łukianowicz, Czesław},
 contributor={Gaj, Miron. Redakcja and Wilk, Ireneusz. Redakcja},
 year={2003},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 33, 2003, nr 2-3, s. 315-327},
 language={eng},
 title={Inverse problem in scatterometry of rough surfaces},
 type={artykuł},
 keywords={optyka, light scattering, inverse problem, surface roughness},
}