@misc{Kijaszek_Wojciech_Optimization_2016,
 author={Kijaszek, Wojciech and Oleszkiewicz, Waldemar},
 contributor={Urbańczyk, Wacław. Redakcja},
 identifier={DOI: 10.5277/oa160201},
 year={2016},
 rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)},
 publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej},
 description={Optica Applicata, Vol. 46, 2016, nr 2, s. 167-172},
 language={eng},
 title={Optimization of radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapour deposition process of diamond-like carbon films},
 type={artykuł},
 keywords={optyka, diamond-like carbon, radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapourdeposition (RF ICP PECVD), Raman scattering spectroscopy, spectroscopic ellipsometry},
}