@misc{Zubel_Irena_Kształtowanie_2004, author={Zubel, Irena}, year={2004}, rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)}, publisher={Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej}, language={pol}, title={Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice}, type={książka}, keywords={monokryształy, struktura monokryształów, trawienie anizotropowe, kryształy, krzem}, }