@misc{Golonka_Leszek_Wytwarzanie_1976, author={Golonka, Leszek}, contributor={Licznerski, Benedykt. Promotor}, year={1976}, rights={Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright)}, publisher={Politechnika Wrocławska}, language={pol}, type={rozprawa doktorska}, title={Wytwarzanie i badanie własności elektrycznych mikroelektronicznych struktur grubowarstwowych metal-izolator}, keywords={technika grubowarstwowa, warstwy izolacyjne, struktury wielowarstwowe, wielowarstwy, struktura metal-izolator-metal}, }